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wafer clamp assembly

Assemblage de pince de plaquée

Nom du produit:Assemblage de pince de plaquée

Matériel:Acier inoxydable 316L

Dimensions:360*400*200mm

Méthode de traitement:Usinage CNC à 5 axes

Caractéristiques du produit:

Cet ensemble de pinces à plaquettes est fabriqué grâce à un usinage intégré CNC avancé à 5 axes, surmontant les limitations de traitement traditionnelles pour répondre parfaitement aux exigences de précision de niveau nanométrique de la manutention des plaquettes.

Pour atteindre des tolérances géométriques au niveau du micron, la technologie de synchronisation multi-axes permet une coupe de précision omnidirectionnelle, complétant l'usinage multi-surface à haute brillance en une seule configuration, éliminant les erreurs de repositionnement. La simulation de contrainte matérielle optimise les paramètres de coupe, assurant la stabilité structurelle et la résistance à la déformation tout en respectant les normes de nettoyage sans poussière et sans contamination.

Une inspection en temps réel et un système de compensation intelligent garantissent une précision dimensionnelle critique à ± 0.002mm et une rugosité de surface de Ra ≤ 0.1 μm. L'ensemble offre une fiabilité sans défaut pour le transfert et le positionnement des plaquettes, mettant en valeur l'expertise inégalée de notre entreprise dans la fabrication d'équipements à semi-conducteurs de haute précision.


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